Pierwsza elektrownia geotermalna została wynaleziona w 1904 roku przez księcia Piero Ginori Conti. Ten system użył pary do wytworzenia energii elektrycznej.
Dopiero w 1922 roku zbudowano pierwszą elektrownię geotermalną w Stanach Zjednoczonych o mocy 250 kilowatów. Jego produkcja była niewielka i została później zamknięta z powodu problemów technicznych. Później w 1946 r. W budynku Commonwealth w Oregonie została zbudowana podziemna pompa ciepła. Pierwsza wielkoskalowa elektrownia geotermalna, o mocy 11 megawatów, została wybudowana w San Francisco w 1960 roku. Geotermalne pompy ciepła zyskały popularność w latach 80. ubiegłego wieku po kryzysie naftowym w 1973 roku. Od tego czasu energia geotermalna nadal się rozwija wraz z rosnącą potrzebą obniżenia kosztów chłodzenia i ogrzewania.
