Frederick Guthrie wynalazł diodę w 1873 roku, ale nie wykorzystał jej w praktyce. Thomas Edison niezależnie opracował ją w 1880 roku, a następnie użył jej w swoim patencie z roku 1883 na żarówkę. John Ambrose Fleming otrzymał pierwszy patent na samą diodę w 1904 roku.
Wszystkie te wczesne diody były lampami próżniowymi. Dioda lampowa była najpowszechniejszą formą do lat 50. XX wieku, kiedy diody półprzewodnikowe wyparły je. Diody półprzewodnikowe zostały wynalezione wkrótce po lampach próżniowych, ale nie były wystarczająco stabilne do praktycznego użytku aż do połowy XX wieku. Karl Ferdinand Braun wynalazł pierwszą diodę półprzewodnikową w 1874 roku i opatentował ją w 1899 roku.
